Экспериментальный эллипсометр LCP-25
Технические характеристики
Описание | Технические характеристики |
Диапазон измерения толщины | 1 нм ~ 300 нм |
Диапазон угла падения | 30º ~ 90º, ошибка ≤ 0,1º |
Угол пересечения поляризатора и анализатора | 0º ~ 180º |
Угловая шкала диска | 2º по шкале |
Мин. показание нониуса | 0,05º |
Высота оптического центра | 152 мм |
Диаметр рабочей поверхности | Φ 50 мм |
Габаритные размеры | 730x230x290 мм |
Масса | Около 20 кг |
Список деталей
Описание | Кол-во |
Эллипсометрический блок | 1 |
He-Ne лазер | 1 |
Фотоэлектрический усилитель | 1 |
Фотоэлемент | 1 |
Силикатная пленка на кремниевой подложке | 1 |
CD с программным обеспечением для анализа | 1 |
Руководство по эксплуатации | 1 |
Напишите здесь свое сообщение и отправьте его нам